新材料電阻率測(cè)定直排四探針?lè)ā_定電學(xué)測(cè)量裝置的適用性和準(zhǔn)確度

5.3確定電學(xué)測(cè)量裝置的適用性和準(zhǔn)確度

5.3.1將恒流源短路或關(guān)閉，斷開(kāi)探針裝置與電學(xué)測(cè)量裝置的連接。

5.3.2按表2選擇模擬電路中電阻r的阻值.將電流引線（圖2中1和4）接到模擬電路電流端，將電壓引線（圖2中2和3）接到模擬電路的電壓端。

5.3.3  如果采用直接測(cè)量電阻（電壓-電流比值）儀器，按5.3.5條進(jìn)行，否則如下進(jìn)行：讓電流在任一方向（稱(chēng)之為正向），調(diào)節(jié)電流大小到近似于表4推薦的圓片測(cè)量電流值，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)電阻兩端的電勢(shì)差V_af，或直接測(cè)量流過(guò)模擬電路的電流I_sf，再測(cè)量模擬電路的電勢(shì)差V_af。將電流換向，測(cè)量V_sf或I_sf，和V_KI記入表3a。

5.3.4  重復(fù) 5.3.3條操作，直到每一極性進(jìn)行了5次測(cè)量。然后按5.3.6條進(jìn)行。

5.3.5 用直接測(cè)量電阻的儀器。開(kāi)始在任一極性上（稱(chēng)之為正向）測(cè)量模擬電路的正向電阻r_f。改變連接極性，測(cè)量反向電阻r_r。繼續(xù)改變極性進(jìn)行測(cè)量，直到每-極性進(jìn)行了5次測(cè)量。記入表3b。

5.3.6   按6.2條計(jì)算平均電阻r和標(biāo)準(zhǔn)偏差a。

5.3.7   電學(xué)測(cè)量裝置應(yīng)滿足下述條件：

5.3.7.1   r 值應(yīng)在已知r值的0. 3%以?xún)?nèi)。

5.3.7.2   樣品標(biāo)準(zhǔn)偏差σ 應(yīng)小于r下的0.3%。

5.3.7.3   設(shè)備應(yīng)能測(cè)量出0.05%電阻的變化。